在半導(dǎo)體工業(yè)中漂洗水里所含的有機(jī)化合物會影響產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量。因此規(guī)定水中的總有機(jī)碳（TOC）污染物的含量不得超過百萬分之一（ppb），即在此應(yīng)用中只能適用超純水。
紫外照射技術(shù)的強(qiáng)大發(fā)展使其成功地引入半導(dǎo)體、制藥化妝品，保健品等工業(yè)的超純水制造中，此項技術(shù)不僅在消毒方面發(fā)揮巨大作用，在降低TOC，去除臭氧和氯方面也效果顯著。
在這一應(yīng)用使用2鐘UV波長，254nm和185nm，254nm波長的紫外光用于消毒作用，同事能破壞水中殘留臭氧分子。185nm輻射能分解有機(jī)物分子，他比254nm波長能量更高。能從水分子中分解出自由羥基，從而將有機(jī)物氧化分解成CO2和水，從而降低了水中的TOC含量。
本裝置采取了特制的高強(qiáng)度臭氧紫外線殺菌燈和內(nèi)壁經(jīng)過特殊處理的微炭臭氏體不銹鋼筒體，筒體外側(cè)經(jīng)特殊拋光處理，使經(jīng)過預(yù)處理的水在流過筒體時受到185nm紫外線的足夠線量的照射，具有良好的殺菌效果，也有效減少了對超純水的影響。
TOC紫外線殺菌器利用紫外線的特性，殺滅水中細(xì)菌、病毒、酵母、霉菌及藻類生物，不需添加任何化學(xué)藥品及不需加熱或冷卻，即能達(dá)到消毒效果，故廣泛適用于電子工業(yè)
超純水系統(tǒng)作流水殺菌用，也適用于醫(yī)藥品、飲料、化學(xué)、化妝品等工業(yè)原料水、飲用純凈水、礦泉水、洗凈水系統(tǒng)作流水殺菌用，對機(jī)關(guān)團(tuán)體、高級飯店、公共場所等供水系統(tǒng)，也是理想的衛(wèi)生防疫消毒設(shè)備。
結(jié)構(gòu)合理，造型美觀，材料優(yōu)良，效果顯著，使用方便，經(jīng)久耐用。
⊙ 經(jīng)紫外線消毒系統(tǒng)處理過的水體，其各病毒、細(xì)菌的除去率達(dá)99%以上。
⊙ 對飲用水終端加用紫外線消毒，可達(dá)到直接飲用水的標(biāo)準(zhǔn)。
⊙ 對城鎮(zhèn)污水消毒，細(xì)菌總量降至200個/100ml以下，大腸桿菌20個/100ml以下。
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